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Par l’étude des interactions entre les ions de haute énergie produits par un accélérateur de particules et les atomes d’une cible, on identifie et on dose ceux-ci. Les différents phénomènes physiques donnent lieu à différentes techniques d’analyse ayant leurs caractéristiques propres (analyses de surface, résolution en profondeur, dosage des éléments légers, recherche de traces). On peut les résumer brièvement sous les appellations suivantes :
Toutes ces méthodes d’analyse élémentaire ne donneront toutefois pas accès à l’information concernant l’état cristallographique de l’échantillon ou la nature des liaisons chimiques du matériau étudié.
Elles peuvent être mise en œuvre sur une surface de quelques millimètres carrés, ou à l’aide du microfaisceau de résolution latérale proche du micron, et permettre ainsi une imagerie élémentaire de la zone étudiée.
Par ailleurs, la mise en œuvre d’une ligne spécifique « faisceau extrait » permet également de conduire des mesures sur des objets de grandes dimensions ou ne pouvant être mis sous vide, et rendre ainsi l’analyse totalement non destructive puisque ne nécessitant plus de prélèvement de matière sur l’échantillon à étudier.